型號
06FP601（06FP601L）
調整維數
六維
驅動方式
測微頭
平移調整范圍
TxTyTz粗調
±6.5mm
TxTyTz微調
±0.3mm
TxTyTz精度
上下偏擺
20″
左右偏擺
10″
俯仰調整范圍
Θx調節
±5.5º
Θy調節
±2.5º
Θz調節
ΘxΘyΘz精度