型號

02TM522(L)

調整維數

五維

驅動方式

測微頭、微調螺紋副

驅動位置

中心

導軌

線性導軌+滾柱

三維平移行程

13mm

旋轉和俯仰范圍

±5°

刻度

0.01mm

精度

0.001mm

直線度

0.003mm（單軸）

擺動誤差

<20″

自重

2.1kg

負載

25kg