型號

02TM222（L）

02TM312（L）

02TM322(L)

調整維數

XY

XYZ

XYZ

驅動方式

微調螺紋副

測微頭

微調螺紋副

驅動位置

中心

導軌

V型導軌+交叉滾柱

行程

25mm

刻度

---

0.01mm

---

精度

0.001mm

直線度

0.002mm（單軸）

擺動誤差

<20″

自重

1.15kg

1.65kg

1.7kg

負載

10kg

5kg