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可調微動工作臺機構
該機構三大部分：下基座微調臺、上基座微調臺和CCD調整機構。
其中下基座微調臺機構包括：±2mm x軸微動臺，±2mm y軸微動臺，±5°繞z軸轉動臺；
上基座包括：0~50mm、帶數顯光柵尺(長度分辨率為1μm)的 z軸微動臺；
CCD調整機構包括兩套獨立的三軸調節機構，實現±10mm的z軸位移、±10μm的x 軸位 移，±10μm的y軸位移。
設備技術參數：
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序 號 |
名 稱 |
產品規格 |
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1 |
X軸微動臺 |
±2mm |
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2 |
Y軸微動工作臺 |
±2mm |
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3 |
z軸微動工作臺 |
整體量程：0-50mm，在0~3mm范圍內能夠實現局部微調，分辨率為1μm |
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4 |
thet軸微動工作臺 |
±5° |
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5 |
上基座支撐板 |
246×132×100(10mm厚） |
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6 |
下基座支撐板 |
304×308×15 |
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7 |
CCD支撐板 |
z軸向微調：±10mm |
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8 |
x軸向微調：±10mm |
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9 |
y軸向微調：±10mm |
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10 |
支撐立柱 |
Φ20×280mm |
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11 |
支撐底板 |
480×700×10 |
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12 |
數顯光柵尺 |
JCXE1-100（ 精度：1μm行程：100mm） |
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